Piezoresistiv trykksensor
En motstandstøyningsmåler er en av hovedkomponentene i en piezoresistiv tøyningssensor. Arbeidsprinsippet til en metallmotstandstøyningsmåler er basert på fenomenet at motstanden til tøyningsmåleren adsorbert på underlaget endres med mekanisk deformasjon, vanligvis kjent som motstandstøyningseffekten.
Keramisk trykksensor
En keramisk trykksensor er basert på den piezoresistive effekten. Trykk virker direkte på den fremre overflaten av en keramisk membran, og forårsaker en liten deformasjon. En tykk-filmmotstand er trykt på baksiden av den keramiske membranen, og danner en Wheatstone-bro. På grunn av den piezoresistive effekten til den piezoresistive motstanden, genererer broen et svært lineært spenningssignal som er proporsjonalt med trykket og også proporsjonalt med eksitasjonsspenningen. Standardsignaler er kalibrert til 2,0/3,0/3,3 mV/V, etc., avhengig av trykkområdet, og er kompatible med strain gauge sensorer.
Diffusert silisium trykksensor
Arbeidsprinsippet til en diffust silisiumtrykksensor er også basert på den piezoresistive effekten. Ved å bruke dette prinsippet virker trykket til det målte mediet direkte på sensorens membran (rustfritt stål eller keramikk), og forårsaker en mikro-forskyvning av membranen proporsjonal med middeltrykket. Dette resulterer i en endring i sensorens motstand. Elektroniske kretser oppdager denne endringen og sender ut et standard målesignal som tilsvarer det trykket.
Sapphire trykksensor
Ved å bruke strain gauge-prinsippet bruker denne sensoren silisium-safir som halvledersensorelementet, og har uovertruffen metrologiske egenskaper. Derfor er halvlederfølende elementer laget av silisium-safir ufølsomme for temperaturendringer og viser utmerkede driftsegenskaper selv ved høye temperaturer; safir har sterk strålingsmotstand; videre har silisium-sapphire-halvledersensorelementer ingen p-n-drift.
Piezoelektrisk trykksensor
Den piezoelektriske effekten er hovedprinsippet for piezoelektriske sensorer. Piezoelektriske sensorer kan ikke brukes til statiske målinger fordi ladningen etter at en ekstern kraft er påført kun bevares når kretsen har uendelig inngangsimpedans. Siden dette ikke er tilfelle i virkeligheten, kan piezoelektriske sensorer kun måle dynamisk stress.